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激光加工技术为高精度、非接触式加工,避免机械接触可能引起的损伤,能够实现微小尺寸和高密度器件的制造。激光加工技术在半导体领域的广泛应用极大地提高了器件制造的精度、效率和可靠性,为半导体行业的发展提供了强大的支持。其高精度、非接触性和可控性等优势使得激光成为半导体制造过程中不可或缺的工艺之一。
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