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(1)床身为天然大理石,结构稳定、刚性好、精度高、可靠性强;
(2)三直线轴均采用直线电机,动态响应快,定位精度高;
(3)两旋转轴采用高精度力矩电机;
(4)直线轴和旋转轴均采用闭环控制;
(5)直线轴采用直线滚动导轨,摩擦系数低,响应速度快;
(6)光路采用模块化设计。并配置CCD定位相机和高精度探针。
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