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(1)主体材质为天然大理石,结构稳定、刚性好、精度高、可靠性强;
(2)三直线轴均采用直线电机,动态响应快,定位精度高;
(3)两旋转轴采用力矩电机,精度高;
(4)直线轴和旋转轴均采用闭环控制;
(5)直线轴采用直线滚珠导轨,摩擦系数低,响应速度快;
(6)设备配有内置相机和探针;
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